技术类型 : 非专利
技术成熟度 :通过小试
同类技术 :无
合作案例:无
是否有样品或样机:无
转让方式 :其他
交易价格:面议
应用领域 :功能陶瓷制备技术
技术领域 :电线、电缆、光缆及电工器材制造
本发明公开了一种薄膜体声波谐振器及其制造方法。
其中,方法包括:提供过渡基板,并在过渡基板上沉积氮化铝材料;对氮化铝材料进行退火处理,形成氮化铝层;在氮化铝层上形成第一电极;提供具有空腔的衬底,将氮化铝层靠近第一电极的一侧与衬底具有空腔的一侧键合,第一电极位于空腔内;去除过渡基板;在氮化铝层远离第一电极的一侧制备第二电极。
本发明提供的薄膜体声波谐振器及其制造方法,大大提升了薄膜体声波谐振器中氮化铝材料的晶体质量。