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专利基本信息
专利名称 一种常压化学气相沉积镀膜反应器
专利状态 专利权维持 专利号（申请号） 2014107186904
专利申请日期 2014-12-02 专利类型 发明专利
申请公布号 201410718690 申请公布日 2014-12-02
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 -
专利权人 浙江大学
专利摘要 本发明公开了一种常压化学气相沉积镀膜反应器。该镀膜反应器特点为：反应器内部设计有强化对流和束流结构的混气室；反应器底部结构采用具有良好热导率的耐高温钢板；混气室出口采用狭缝结构，作为反应器镀膜气体喷嘴；反应器喷嘴处安装具有倒角结构的石墨挡块；反应器进气腔与排气腔采用完全对称结构；反应器镀膜进气与排气方向可以互换。该常压化学气相沉积镀膜反应器通过强化前驱体气体对流传热，提高反应热效率，能够使镀膜沉积反应在相对较低的温度下进行，降低镀膜能耗，拓宽镀膜温度窗口。本发明的设计思路新颖，设备维护简单，投资小，成本低，适合工业化或实验室设备应用。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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