您所在的位置： 首页 > 专利技术 > 正文
专利基本信息
专利名称 一种掺氮二氧化钛薄膜的制备方法
专利状态 专利权维持 专利号（申请号） 2016101323856
专利申请日期 2016-03-09 专利类型 发明专利
申请公布号 201610132385 申请公布日 2016-03-09
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 -
专利权人 无锡南理工科技发展有限公司
专利摘要 本发明涉及一种掺氮二氧化钛薄膜的制备方法，利用二氧化钛为靶材采用电子束蒸发法制备掺氮二氧化钛薄膜，包括以下步骤，（1）基片的准备；（2）基片的清洗；（3）二氧化钛薄膜的制备；（4）掺氮二氧化钛薄膜的制备：设置氮气退火炉的温度在400~700℃和氮气的流量，等温度到达预定温度后，将所述步骤（3）中所制得的二氧化钛薄膜放入氮气退火炉中，退火时间为30~60min；得到掺氮的二氧化钛薄膜。通过采用电子束蒸发法先制得二氧化钛薄膜，再通过在通有氮气的退火炉中退火，从而得到掺氮的二氧化钛薄膜，这样的制备方法，工艺简单可控，成本低，有利于工业上大规模推广应用。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
相关推荐
技术专利 技术专家 技术成果
适用于管道内壁缺陷检测的机器人系统及方法
专利号：ZL202111235057.6
发明专利
一种锂电池用硫酸乙烯酯的制备方法
专利号：ZL202111304960.3
发明专利
一种风机主控桨距及转矩指令处理系统
专利号：ZL202010899714.6
发明专利
一种管束结构流致振动的非接触位移测试方法
专利号：ZL202110528741.7
发明专利
一种锅炉受热面结焦在线预测方法
专利号：ZL202110381281.X
发明专利
一种可变径支气管封堵治疗塞
专利号：2024232903701
实用新型专利
一株德氏乳杆菌保加利亚亚种MGA17#6 及其用途
本发明涉及一株德氏乳杆菌保加利亚亚种(Lactobacillus#delbrueckii#subsp...
行业：其他食品制造
一种金属-EDTA络合物溶液及其制备方法和应用
本发明提供了一种金属#EDTA络合物溶液及其制备方法。该金属#EDTA络合物溶液的原料包括溶质和溶剂...
行业：环保、邮政、社会公共服务及其他专用设备制造
家畜S2疫苗免疫与羊/牛种布鲁氏菌感染的IELISA检测试剂
本发明提供一种家畜S2疫苗免疫与羊/牛种布鲁氏菌感染的IELISA检测试剂,所述IELISA检测试剂...
行业：工业与专业设计及其他专业技术服务
一种秸秆压扁折弯划切定向喂入方法及其装置
本发明涉及一种秸秆压扁折弯划切定向喂入方法及其装置,包括以下步骤：步骤(1)、对秸秆进行压扁,具体为...
行业：烘炉、风机、包装等设备制造
定向诱导绒山羊毛囊干细胞向毛囊细胞分化的方法
本发明公开了一种定向诱导绒山羊毛囊干细胞向毛囊细胞分化的方法,属于绒山羊毛囊干细胞的诱导分化领域。本...
行业：牲畜饲养
一种提高光伏架下牧草种子产量的方法
本发明公开了一种提高光伏架下牧草种子产量的方法,其特征是：对光伏架下种植牧草的土壤施以微生物菌肥。本...
行业：研究和试验发展
Baidu
map