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专利基本信息
专利名称 一种高品质因子回音壁模微球腔的制备方法
专利状态 专利权维持 专利号（申请号） 2016111746486
专利申请日期 2016-12-19 专利类型 发明专利
申请公布号 201611174648 申请公布日 2016-12-19
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 -
专利权人 厦门大学
专利摘要 一种高品质因子回音壁模微球腔的制备方法，涉及光学谐振腔。包括以下步骤：1)将毫米级石英玻璃棒固定在旋转电机上；2)将毫米级石英玻璃棒顶端用CO2激光器剥蚀至所需微球腔大小的尺度，得微米级石英玻璃棒；3)用CO2激光器烧蚀掉微米级石英玻璃棒顶端多余的长度，再加热微米级石英玻璃棒，得原始回音壁模微腔；4)提高CO2激光器的输出功率，短时间灼烧原始回音壁模微腔，受热的微腔在表面张力的作用下自然形成球状，得到高品质因子回音壁模微球腔。可得到柱上微球腔，稳定性更好；可制备尺寸为190～700μm的微球腔，且品质因子高达108以上。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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