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专利基本信息
专利名称 扫描电镜电子背散射多功能样品台
专利状态 - 专利号（申请号） CN205049496U
专利申请日期 2015-10-21 专利类型 实用新型专利
申请公布号 2015208208474 申请公布日 2015-10-21
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 桂晓露;程骋;高古辉;白秉哲
专利权人 北京交通大学
专利摘要 本实用新型公开一种扫描电镜电子背散射多功能样品台,包括:固定式样品台和第一卡槽;所述固定式样品台包括第一底盘、第一台面;所述第一台面设置在第一底盘的上表面,与水平面呈70°夹角;所述第一卡槽设置在第一底盘的下表面,所述第一卡槽与扫描电镜驱动马达上的卡槽尺寸匹配设置。本实用新型通过设置与水平面呈70°的第一台面替代现有的样品桩,实现了同时测量多个样品,大量节约高纯氮气;第一卡槽与扫描电镜驱动马达上的卡槽的匹配设置,使得测试稳定性高。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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