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专利基本信息
专利名称 一种在金属锌上沉积氧化锌薄膜的方法
专利状态 - 专利号（申请号） CN110306172B
专利申请日期 2019-07-08 专利类型 发明专利
申请公布号 2019106106939 申请公布日 2019-07-08
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 杭弢;金泽滨;李明;胡安民;凌惠琴
专利权人 上海交通大学
专利摘要 本发明公开了一种在金属锌上沉积氧化锌薄膜的方法;该方法包括:化学浴沉积前驱液配制;氧化锌薄膜沉积;反应温度控制。该方法采用锌盐和六亚甲基四胺的混合溶液为化学浴沉积前驱液,在常压、恒温水浴条件下利用锌离子的水解反应在锌上沉积氧化锌薄膜,通过调节化学浴温度控制水解反应的速率,从而调控氧化锌的形貌。与现有技术相比,本发明具备步骤简单,成本较低,可调控氧化锌薄膜的形貌等优势。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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