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专利基本信息
专利名称 一种高品质因子回音壁模微球腔的制备方法
专利状态 - 专利号(申请号) CN106772721B
专利申请日期 2016-12-19 专利类型 发明专利
申请公布号 2016111746486 申请公布日 2016-12-19
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 车凯军;汤德宇;郭长磊;许惠英;蔡志平;任昌燕;张盼
专利权人 厦门大学
专利摘要 一种高品质因子回音壁模微球腔的制备方法,涉及光学谐振腔。包括以下步骤:1)将毫米级石英玻璃棒固定在旋转电机上;2)将毫米级石英玻璃棒顶端用CO2激光器剥蚀至所需微球腔大小的尺度,得微米级石英玻璃棒;3)用CO2激光器烧蚀掉微米级石英玻璃棒顶端多余的长度,再加热微米级石英玻璃棒,得原始回音壁模微腔;4)提高CO2激光器的输出功率,短时间灼烧原始回音壁模微腔,受热的微腔在表面张力的作用下自然形成球状,得到高品质因子回音壁模微球腔。可得到柱上微球腔,稳定性更好;可制备尺寸为190~700μm的微球腔,且品质因子高达108以上。
专利价值评估分析
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