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专利基本信息
专利名称 一种应用于金刚线切割工艺的硅片清洗装置
专利状态 - 专利号（申请号） CN207119583U
专利申请日期 2017-06-15 专利类型 实用新型专利
申请公布号 2017206942034 申请公布日 2017-06-15
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 任丽;褚世君
专利权人 河北工业大学
专利摘要 本实用新型为一种应用于金刚线切割工艺的硅片清洗装置。该清洗装置按照清洗次序依次为喷淋槽、溢流超声波清洗槽、碱性清洗剂超声波清洗槽、第一纯水超声波清洗槽、第二纯水超声波清洗槽、高温空气烘干槽;其中,所述的喷淋槽、四个超声波清洗槽和烘干槽的尺寸都一样,均为长650mm×宽450mm×高450mm;喷淋槽的4个内侧板上设置有总计80‑100个可上下扫动式喷淋头。本实用新型所述的应用于金刚线切割工艺的硅片清洗装置能在保证硅片清洗质量的同时显著降低清洗成本,按照月产出100万片硅片计算,仅水的成本便可节约4000元。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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