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专利基本信息
专利名称 一种在直升飞机叶片上沉积抗沙尘侵蚀纳米复合膜方法和设备
专利状态 - 专利号（申请号） CN105779958B
专利申请日期 2015-12-10 专利类型 发明专利
申请公布号 2015109038545 申请公布日 2015-12-10
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 廖斌;何卫峰;欧阳晓平;罗军;张旭;吴先映;王宇东
专利权人 北京师范大学
专利摘要 本发明公开了一种发动机叶片表面结合力优越以及抗沙尘侵蚀能力强的TiN/DLC/TiN纳米复合膜方法及设备,其中,制备该TiN/DLC/TiN纳米复合膜方法包括:采用金属真空蒸汽离子源方法(MEVVA),在叶片表面注入一层能提高膜基结合力的金属″钉扎层″;在所述的金属″钉扎层″之上,采用磁过滤阴极真空弧沉积方法(FCVA)沉积得到用于释放内应力的第一层金属/金属氧化物薄膜过渡层;在所述的第一层过渡层之上,采用磁过滤阴极真空弧(FCVA)沉积方法沉积得到第二层软DLC层;在所述的第二层软层之上沉积得到第三层超硬TiN膜层;重复工艺制备第二层、第三层直至TiN/DLC/TiN纳米复合膜总厚度为10‑30微米。通过实施本发明,在发动机叶片上沉积TiN/DLC/TiN纳米复合膜能够很好的保护发动机叶片,防止其因沙尘的侵蚀而损害。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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