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专利基本信息
专利名称 一种基于光谱色散线扫描的超横向分辨率表面三维在线干涉测量系统
专利状态 - 专利号（申请号） CN105333815B
专利申请日期 2015-11-05 专利类型 发明专利
申请公布号 2015107447754 申请公布日 2015-11-05
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 谢芳;王韵致;马森;赵可强;董连连
专利权人 北京交通大学
专利摘要 本发明公开了一种基于光谱色散线扫描的超横向分辨率表面三维在线干涉测量系统,属于光学测量领域。所述系统由宽带光源,隔离器,光纤及光纤接头,柱面及球面透镜,光阑,光栅,一维振幅型光瞳滤波器,分光镜,反射镜,法布里‑珀罗滤波器,平移台及平移台驱动,线阵探测器,光电探测器,压电陶瓷,信号处理,反馈控制,数据采集卡,计算机,结果输出等组成。光栅色散宽带光谱形成波长横向连续分布的光片,此光片扫描被测表面实现线扫描表面三维测量;一维振幅型光瞳滤波器、法布里‑珀罗滤波器分别实现光线宽度及长度方向的超横向分辨率测量;反馈控制补偿环境干扰使系统适合在线测量;测量结果能准确溯源到波长基准,不受光源光谱漂移的影响。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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