您所在的位置： 首页 > 专利技术 > 正文
专利基本信息
专利名称 含2,1,4-重氮萘醌磺酸酚酯的化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂组合物
专利状态 - 专利号（申请号） CN102156385B
专利申请日期 2011-05-19 专利类型 发明专利
申请公布号 2011101302170 申请公布日 2011-05-19
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 王力元;徐娜
专利权人 北京师范大学
专利摘要 本发明涉及一种化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂组合物,主要包括(A)N-羟基马来海松酸酰亚胺酯缩醛聚合物或丙烯海松酸酯缩醛聚合物和(B)由2,1,4-重氮萘醌磺氯和多元酚化合物酯化得到的2,1,4-重氮萘醌磺酸酚酯感光剂,该感光剂在光照下除了发生传统的重氮萘醌磺酸酯的光解,还可以产生少量磺酸并导致酯缩醛聚合物发生酸解,因而也起光产酸剂的作用。此种化学增幅型正性感光成像材料,具有感度及分辨率高、反差大、显影宽容性好等优点,可用作超大规模集成电路加工用高性能i-线正性光致抗蚀剂。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
相关推荐
技术专利 技术专家 技术成果
一种气道支架固定套管针
专利号：2025201771715
实用新型专利
一种制备硬炭微球的方法
专利号：ZL202111152692.8
发明专利
弧面乒乓球拍及其套胶
专利号：202110623412.0
发明专利
感应加热干化物料装置及其干化方法
专利号：201910337366.0
发明专利
一种管束结构流致振动的非接触位移测试方法
专利号：ZL202110528741.7
发明专利
一种具有帆形微织构的复合材料螺旋铣孔曲面锥形刀具
专利号：ZL 202410353616.0
发明专利
一种秸秆压扁折弯划切定向喂入方法及其装置
本发明涉及一种秸秆压扁折弯划切定向喂入方法及其装置,包括以下步骤：步骤(1)、对秸秆进行压扁,具体为...
行业：烘炉、风机、包装等设备制造
环境清洁型沙地柏熏香及其制作工艺
本发明涉及一种环境清洁型沙地柏熏香及其制作工艺,其制备原料包括以沙地柏精油为香料添加剂的木粉、轻质碳...
行业：生物药品制品制造
一种金属-EDTA络合物溶液及其制备方法和应用
本发明提供了一种金属#EDTA络合物溶液及其制备方法。该金属#EDTA络合物溶液的原料包括溶质和溶剂...
行业：环保、邮政、社会公共服务及其他专用设备制造
家畜S2疫苗免疫与羊/牛种布鲁氏菌感染的IELISA检测试剂
本发明提供一种家畜S2疫苗免疫与羊/牛种布鲁氏菌感染的IELISA检测试剂,所述IELISA检测试剂...
行业：工业与专业设计及其他专业技术服务
斯氏副柔线虫丝氨酸/苏氨酸蛋白激酶Pj STPK基因克隆、原核表达方法及应用
本发明公开了斯氏副柔线虫丝氨酸/苏氨酸蛋白激酶Pj
行业：研究和试验发展
富产胞外多糖的嗜热链球菌的快速筛选方法及实现所述方法的联合基因核酸序列
本发明提供含有嗜热链球菌的功能基因epsA、epsC和epsD的联合基因核酸序列在筛选富产胞外多糖的...
行业：其他农副食品加工
Baidu
map