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专利基本信息
专利名称 一种大尺寸复杂结构滚子轴承套圈内引导面均匀沉积TiN涂层的方法
专利状态 - 专利号（申请号） CN111676455A
专利申请日期 2020-05-22 专利类型 发明专利
申请公布号 2020104433888 申请公布日 2020-05-22
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 马欣新
专利权人 哈尔滨工业大学
专利摘要 一种大尺寸复杂结构滚子轴承套圈内引导面均匀沉积TiN涂层的方法,涉及一种轴承套圈内引导面沉积涂层的方法。目的是解决轴承套圈进行沉积TiN时非引导面的防护不充分、沉积速度低和均匀性差的问题。方法:屏蔽机构对轴承套圈内表面、轴承套圈端面和外表面进行屏蔽,将屏蔽后的轴承套圈安装在倾斜回转机构上;在多弧真空离子镀膜机中安装轴承套圈回转屏蔽系统,将两个多弧靶材安装在轴承套圈回转屏蔽系统两侧,然后依次进行检测漏率、抽真空与预加热、溅射清洗、多弧离子镀TiN和冷却降温。本发明提高了多弧靶的利用率和沉积速率,沉积厚度均匀性得到提高。本发明适用于轴承套圈内引导面沉积TiN涂层。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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