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专利基本信息
专利名称 一种高效多弧离子镀大口径圆台形靶材电弧稳弧装置
专利状态 - 专利号（申请号） CN207811858U
专利申请日期 2018-01-04 专利类型 实用新型专利
申请公布号 2018200314604 申请公布日 2018-01-04
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 叶伟
专利权人 陕西理工大学
专利摘要 本实用新型公开的一种高效多弧离子镀大口径圆台形靶材电弧稳弧装置,包括阴极靶、屏蔽板、永久磁铁、聚焦线圈、固定装置和弧电源,固定装置中部竖直固定有靶座,靶座外壁上还安装有屏蔽板支撑基座,屏蔽板支撑基座下面连接有屏蔽板,屏蔽板为圆环形且内部中空,阴极靶为圆台形,阴极靶上端面开设有一凹槽,凹槽内设置有永久磁铁,阴极靶穿过屏蔽板中心安装在靶座上,固定装置的两端向下竖直方向固定有聚焦筒,聚焦筒外壁上均匀缠绕着聚焦线圈,弧电源正、负极分别连接到屏蔽板和阴极靶。本实用新型所设计的稳弧装置具有结构简单、镀膜质量高、电弧弧斑稳定性好、工作效率高、易于控制的特点。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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