阴极弧电流对TiN及(TiTa)N薄膜结构和性能影响

利用电弧离子镀技术在高速钢基体上制备了TiN和（TiTa）N薄膜。采用X射线衍射（XRD）和透射电子显微镜（TEM）对薄膜的微观组织结构进行了系统分析。研究结果显示：

随着阴极弧电流的增加，沉积温度线性上升。薄膜由（111）织构向无择优取向转化。

阴极弧电流对TiN薄膜的显微硬度影响较大，而对（TiTa）N薄膜的显微硬度无显著影响。

此外，还讨论了阴极弧电流对TiN和（TiTa）N薄膜的微观组织和性能的影响机制。

利用电弧离子镀技术在高速钢基体上制备了TiN和（TiTa)N薄膜，采用X射线衍射（XRD）、透射电子显微镜（TEM）对薄膜的微观组织结构进行了系统分析，研究结果显示：随着阴极弧电流的增加，沉积温度线性上升，薄膜由（111）织构向无择优取向转化，阴极弧电流对TiN薄膜的显微硬度影响较大，而对（TiTa）N薄膜的显微硬度无显著影响，此外，讨论了阴极弧电流对TiN和（TiTa)N薄膜的微观组织和性能的影响机制。