一种高质量金属氧化物电子传输层的钙钛矿太阳电池及其制备方法

摘要：

本发明公开了一种高质量金属氧化物电子传输层的钙钛矿太阳电池及其制备方法。该方法包括以下步骤：

1. 玻璃衬底；
2. 依次层叠设置在玻璃衬底上的透明导电氧化物电极；
3. 金属氧化物电子传输层；
4. 钙钛矿光吸收层；
5. 空穴传输层；
6. 金属电极。

所述的透明导电氧化物电极是经过氟基等离子体处理实现氟掺杂的透明导电氧化物电极。所述的金属氧化物电子传输层也是经过氟基等离子体处理实现氟掺杂的金属氧化物电子传输层。

其中，氟基等离子体是利用等离子体轰击含氟元素气体而产生。

本发明具有以下优点：

• 工艺简单；
• 均匀性好；
• 重复性好；
• 钙钛矿太阳电池效率较高。

摘要：本发明公开了一种高质量金属氧化物电子传输层的钙钛矿太阳电池及其制备方法，包括玻璃衬底以及依次层叠设置在玻璃衬底上的透明导电氧化物电极、金属氧化物电子传输层、钙钛矿光吸收层、空穴传输层、金属电极，所述的透明导电氧化物电极是经过氟基等离子体处理实现氟掺杂的透明导电氧化物电极，所述的金属氧化物电子传输层是经过氟基等离子体处理实现氟掺杂的金属氧化物电子传输层，其中氟基等离子体是利用等离子体轰击含氟元素气体而产生。本发明工艺简单、均匀性好、重复性好且钙钛矿太阳电池效率较高。