一种基于光纤白光干涉原理的测厚仪

摘要：

本发明属于光纤技术领域，具体涉及的是一种基于光纤白光干涉原理的测厚仪。

本发明由以下组件组成：宽谱光源1、光纤耦合器、光纤功率衰减器3、三端口光纤环行器、光纤准直器、扫描位移台控制的反射镜6、具有长度固定的标定光纤段8、信号处理单元11以及连接光纤组成。

本发明通过比较固定的光纤段与这两组条纹的间距长度之比，就能得到待测物体精确的光程厚度。该厚度等于折射率与物理厚度的乘积。此时，若知道物体的折射率，则可以精确获得物体的物理厚度。

摘要：本发明属于光纤技术领域，具体涉及的是一种基于光纤白光干涉原理的测厚仪。本发明由宽谱光源1、光纤耦合器、光纤功率衰减器3、三端口光纤环行器、光纤准直器、扫描位移台控制的反射镜6、具有长度固定的标定光纤段8、信号处理单元11以及连接光纤组成。本发明通过比较固定的光纤段与这两组条纹的间距长度之比，就能得到待测物体精确的光程厚度，该厚度等于折射率与物理厚度的乘积。此时若知道物体的折射率，则可以精确获得物体的物理厚度。