基于自混合的高灵敏度膜片式光声光谱传感器

基于自混合的高灵敏度膜片式光声光谱传感器

本实用新型涉及一种基于自混合的高灵敏度膜片式光声光谱传感器，包括以下组件：

1. 传感光源
2. 激发光源
3. 第一耦合器
4. 光声腔体
5. 信号处理电路单元

工作原理如下：

• 传感光源和激发光源出射的激光通过第一耦合器，由光纤导入光声腔体内。
• 光声腔体由陶瓷套管和高灵敏度膜片组成。
• 激发光源出射的激光激发气体分子，产生光声信号，并引起高灵敏度膜片振动。
• 传感光源作为检测光信号，入射到高灵敏度膜片表面，被反射回光纤端面。
• 反射回的光通过光纤输出至传感光源的腔内，产生自混合光声光谱信号。
• 自混合光声光谱信号经信号处理电路单元处理，获得高灵敏度膜片振动频率和幅度。
• 通过分析振动频率和幅度，进而获得气体的浓度、压力信息。

本实用新型采用自混合干涉传感技术，具有以下优点：

• 光路结构简单可靠
• 可实现远距离、分布式气体检测

基于自混合的高灵敏度膜片式光声光谱传感器

本实用新型涉及一种基于自混合的高灵敏度膜片式光声光谱传感器，包括传感光源、激发光源、第一耦合器、光声腔体及信号处理电路单元，传感光源、激发光源出射激光经第一耦合器由光纤导入光声腔体内；光声腔体包括陶瓷套管及高灵敏度膜片；激发光源出射激光激发气体分子产生光声信号，并引起高灵敏度膜片振动；传感光源作为检测光信号入射到高灵敏度膜片表面，被反射回光纤端面，经光纤输出至传感光源的腔内产生自混合光声光谱信号；自混合光声光谱信号经信号处理电路单元处理，获得高灵敏度膜片振动频率和幅度，进而获得气体的浓度、压力信息。本实用新型采用自混合干涉传感技术，光路结构更加简单可靠，可实现远距离，分布式气体检测。