一种基于二硫化钼的肖特基异质结太阳能电池及其制备方法

摘要：

本发明公开了一种基于二硫化钼的肖特基太阳电池的制备方法。该方法利用金属钯与二硫化钼形成肖特基异质结，并在石英衬底上制备薄膜太阳能电池。纳米层状二硫化钼薄膜的制备采用化学气相沉积法实现，金属钯薄膜则采用磁控溅射法实现。作为背电极的钯薄膜，通过热蒸发方法在二硫化钼薄膜上沉积，形成金属钛/金叠层薄膜，作为上电极。这种基于二硫化钼的肖特基异质结太阳能电池具有光电转换效率高、制备方法简单易行、成本低等优点，具有广泛的运用前景。

摘要：本发明公开了一种基于二硫化钼的肖特基太阳电池的制备方法，利用金属钯与二硫化钼形成肖特基异质结，在石英衬底上制备薄膜太阳能电池。纳米层状二硫化钼薄膜的制备采用化学气相沉积法实现，金属钯薄膜采用磁控溅射法实现，钯薄膜作为背电极，金属钛/金叠层薄膜通过热蒸发方法在二硫化钼薄膜上沉积作为上电极。这种基于二硫化钼的肖特基异质结太阳能电池光电转换效率高，制备方法简单易行，成本低，具有广泛应用前景。