耐深紫外激光辐照特种玻璃

一、项目名称 耐深紫外激光辐照特种玻璃

二、技术概况 耐ArF、F2深紫外激光辐照特种石英玻璃。

• ArF准分子激光193nm的透过率大于90%。
• F2准分子激光157nm的透过率大于80%。
• ArF、F2深紫外激光辐照时，玻璃不产生结构缺陷，不发出红色荧光。

技术成熟度： - 掌握了控制性能的关键技术。 - 除了纯度以外，H、H2含量范围、均匀性的控制及其关键技术。

三、产品用途和市场 深紫外光刻、光制导等

四、主要设备和总投资 根据要求形状以及尺寸，投产条件不同。

五、项目可供转让其他需要说明的情况 各种研发合作方式。欢迎洽谈。

一、项目名称 耐深紫外激光辐照特种玻璃 二、技术概况 耐ArF、F2深紫外激光辐照特种石英玻璃。 ArF准分子激光193nm的透过率大于90%。 F2准分子激光157nm的透过率大于80%。 ArF、F2深紫外激光辐照时，玻璃不产生结构缺陷，不发出红色荧光。 技术成熟度: 掌握了控制性能的关键技术。 除了纯度以外，H、H2含量范围、均匀性的控制及其关键技术。 三、产品用途和市场 深紫外光刻、光制导等 四、主要设备和总投资 根据要求形状以及尺寸，投产条件不同。 五、项目可供转让其他需要说明的情况 各种研发合作方式。欢迎洽谈。