一种半导体特性参数综合测试设备

本实用新型提供一种半导体特性参数综合测试设备， 涉及半导体性能测试领域， 包括光源、光学探测系统、电学系统、磁学系统以及控制系统。 所述光学探测系统、电学系统、磁学系统均可通过通讯接口连接至控制系统， 所述光学探测系统、电学系统、磁学系统任意两者之间可通过控制系统实现切换。

本实用新型的积极效果在于： 虽然将独立模块有机结合到了一起， 不仅能独立进行测试， 还能进行耦合测试， 从而大大拓展了测试的模式和能力。

本实用新型提供一种半导体特性参数综合测试设备，涉及半导体性能测试领域，包括光源、光学探测系统、电学系统、磁学系统以及控制系统，所述光学探测系统、电学系统、磁学系统均可通过通讯接口连接至控制系统，所述光学探测系统、电学系统、磁学系统任意两者之间可通过控制系统实现切换。本实用新型的积极效果在于虽然将独立模块有机结合到了一起，不仅能独立进行测试，还能进行耦合测试，从而大大拓展了测试的模式和能力。