一种用于检测铜金属蒸气浓度的多电极微型传感器

一种用于检测铜金属蒸气浓度的多电极微型传感器，其结构自下而上包括以下部分：

1. 金属放电针阵列的放电阴极：该阴极接地。
2. 第一绝缘支撑：用于隔绝放电阴极和提取电极。
3. 提取电极：连接直流电源，用于提取被测气体通过电离、碰撞、扩散后产生的正离子流，实现电子和正离子流的分离。
4. 第二绝缘支撑：用于隔绝提取电极和收集电极。
5. 收集电极：连接直流电源，使正离子流被电场加速，从而被收集电极吸收。

本发明所公开的传感器具有以下特性：

• 在常温、大气压及较低电压的条件下，能够使被测气体发生微弱放电。
• 在收集电极上，能够得到相应的放电电流。
• 可用于检测断路器灭弧室内的铜蒸气浓度。

一种用于检测铜金属蒸气浓度的多电极微型传感器，其下而上包括包括金属放电针阵列的放电阴极，所述放电阴极接地，通过在金属放电针尖端局部小区域内产生强电场从而场致发射电子；用于隔绝放电阴极和提取电极的第一绝缘支撑；连接直流电源的提取电极，用于提取被测气体通过电离、碰撞、扩散后产生的正离子流，实现电子和正离子流的分离；用于隔绝提取电极和收集电极的第二绝缘支撑；连接直流电源的收集电极，使正离子流被电场加速从而被收集电极吸收。本发明所公开的传感器可以在常温、大气压及较低电压的条件下使被测气体发生微弱放电，并在收集电极上得到相应放电电流，可用于检测断路器灭弧室内铜蒸气浓度。