激光测量大尺寸物体直线度的新方法

直线度是限制实际线对理想直线变动量的一项指标。 正确检测直线度是判断零件形位精度状况的基本手段。 该方法解决了大尺寸物体直线度的测量问题，对于动态的机械系统的光学测量具有普遍的参考价值。 该方法的原理是以光栅、晶体片及对称的反射镜构成测量系统， 应用光栅的衍射效应和晶体的偏振效应， 实现对称衍射光束的干涉， 从而给出以光栅常数为单位的数学测量单位， 以电子学方法处理测量结果。 它可测长度为数米至数十米物体的直线度， 采用粗光栅即可达到微米量级的分辨率。 其显著优点在于测量精度并不取决于激光束的直线度和激光器的稳定性， 空气扰动影响也小， 只需普通氦－氖激光器即可实现。 该装置成本低，测量精度高，适应性强。

直线度是限制实际线对理想直线变动量的一项指标。正确检测直线度是判断零件形位精度状况的基本手段。该方法解决了大尺寸物体直线度的测量问题，对于动态的机械系统的光学测量具有普遍的参考价值。该方法的原理是以光栅、晶体片及对称的反射镜构成测量系统，应用光栅的衍射效应和晶体的偏振效应，实现对称衍射光束的干涉，从而给出以光栅常数为单位的数学测量单位，以电子学方法处理测量结果。它可测长度为数米至数十米物体的直线度，采用粗光栅即可达到微米量级的分辨率。其显著优点在于测量精度并不取决于激光束的直线度和激光器的稳定性，空气扰动影响也小，只需普通氦－氖激光器即可实现。该装置成本低，测量精度高，适应性强。