一种用于椭偏仪精确定位测量的装置及方法

本发明公开了一种用于椭偏仪精确定位测量的装置及方法。该装置包括以下组成部分：

1. 定位片
2. 样品台
3. 自动二维移动平台
4. 光强探测器
5. 微型真空泵
6. 显微镜成像系统
7. 照明光源
8. 计算机

利用定位片上的定位孔，可以清晰界定光斑轮廓。定位孔正下方的光强探测器嵌于样品台中央。该探测器随自动二维移动平台沿X轴和Y轴按一定步长精确移动。

在使用显微成像系统观察并初步确定定位孔位置的基础上，通过光强探测器获得的光强值，可以精确调整定位孔位置。这样，可以使光斑和定位孔完全重合。

接着，将显微成像系统的捕捉框移动到定位孔上，捕捉框就代表了光斑的精确位置。将捕捉框置于样品待测结构中，即可开始椭偏测量。

本发明实现了针对具体结构的精密定位测量，操作方便，工作效率高。

本发明公开了一种用于椭偏仪精确定位测量的装置及方法。该装置包括定位片、样品台、自动二维移动平台、光强探测器、微型真空泵、显微镜成像系统、照明光源和计算机。利用定位片上的定位孔可清晰界定光斑轮廓，定位孔正下方的光强探测器嵌于样品台中央，随自动二维移动平台沿X轴和Y轴按一定步长精确移动，在使用显微成像系统观察、初步确定定位孔位置的基础上，利用光强探测器获得的光强值精确调整定位孔位置，使光斑和定位孔完全重合，再将显微成像系统的捕捉框移动到定位孔上，捕捉框就代表了光斑的精确位置，使捕捉框位于样品待测结构中，即可开始椭偏测量。本发明实现了针对具体结构的精密定位测量，操作方便，工作效率高。