一种抛光液及其制备方法和用途

本发明涉及一种化学机械抛光液及其制备方法和用途。所述抛光液包含以下成分：磨粒、分散剂、氧化剂、缓蚀剂、pH调节剂、稳定剂及溶剂。

本发明利用无机填料磷酸锆作为抛光磨粒。这种新型抛光新材料与传统的片状氧化铝相比，具有以下优势：

1. 分散性更好；
2. 稳定性高；
3. 沉降效果不明显。

此外，磷酸锆具有二维片层状结构。当受到外力作用时，会产生定向排列，从而优化磨粒的取向。这样优化后的抛光磨粒在抛光过程中更加稳定，产生的划痕更少。整个抛光体系因此更加稳定，可达到更好的抛光效果。

本发明涉及一种化学机械抛光液及其制备方法和用途，所述抛光液包含磨粒、分散剂、氧化剂、缓蚀剂、pH调节剂、稳定剂及溶剂。本发明利用无机填料磷酸锆作为抛光磨粒。这种型抛光新材料与传统的片状氧化铝相比，分散性更好，稳定性高，沉降效果不明显。此外磷酸锆具有二维片层状结构，受到外力时会产生定向排列从而优化磨粒的取向，这样优化后的抛光磨粒在抛光过程中更加稳定，产生的划痕更少，整个抛光体系更加稳定，可达到更好的抛光效果。