一种SiC高温欧姆接触电极及其制作方法

本发明公开了一种SiC高温欧姆接触电极及其制作方法。具体步骤如下：

1. 首先对SiC衬底表面进行抛光处理。
2. 然后在SiC衬底表面进行光刻，得到电极图像层。
3. 接着采用磁控溅射，在SiC衬底电极图像层表面上依次沉积Ti层和W层。
4. 在W层上，利用真空蒸发镀膜依次蒸镀NiCr层和Au层。
5. 随后，通过退火处理，得到欧姆接触电极。

采用多层难熔金属Ti/W/NiCr/Au来制作光导开关的多层难熔金属电极。这些金属熔点高，能够耐受更高的工作温度。金属电极退火后会和SiC基底形成Ti3SiC2合金化合物，提高金属接触电极的电导率。因此，该方法制作的欧姆接触电极能耐高温、接触电阻小。

本发明公开了一种SiC高温欧姆接触电极及其制作方法，首先对SiC衬底表面进行抛光处理，然后在SiC衬底表面进行光刻得到电极图像层，然后采用磁控溅射在SiC衬底电极图像层表面上依次沉积Ti层和W层，在W层上利用真空蒸发镀膜依次蒸镀NiCr层和Au层，然后通过退火处理得到欧姆接触电极，采用多层难熔金属Ti/W/NiCr/Au来制作光导开关的多层难熔金属电极，采用的金属熔点高，能够耐受更高的工作温度，金属电极退火后会和SiC基底形成Ti3SiC2合金化合物，提高金属接触电极的电导率，能够大大降低金属电极的接触电阻，因此该方法制作的欧姆接触电极能耐高温、接触电阻小。