二硫化钼基润滑耐磨复合薄膜的制备方法

专利技术名称： 二硫化钼基润滑耐磨复合薄膜的制备方法

专利技术简介： 一种固体润滑技术领域的二硫化钼基润滑耐磨复合薄膜的制备方法，具体包括以下步骤： 1. 将基片进行抛光处理。 2. 对抛光后的基片进行超声清洗。 3. 将清洗干净的基片吹干。 4. 将处理好的基片置于溅射室中。 5. 在溅射室中进行中间层的溅射和复合层的反应磁控溅射。 6. 待溅射室自然冷却至室温。

通过上述步骤，可得到反应磁控溅射制备的新型MoS2基润滑耐磨复合薄膜。该薄膜具有良好的摩擦性能，其耐磨性能和使用寿命有了极大的提高，从而拓展了MoS2在大气环境下的应用范围。

专利技术名称： 二硫化钼基润滑耐磨复合薄膜的制备方法 专利技术简介： 一种固体润滑技术领域的二硫化钼基润滑耐磨复合薄膜的制备方法，通过将基片抛光后超声清洗并吹干，然后置于溅射室中进行中间层溅射和复合层反应磁控溅射，待溅射室自然冷却至室温，得到反应磁控溅射制备的新型MoS2基润滑耐磨复合薄膜。本发明制备得到良好摩擦性能的薄膜，其耐磨性能和使用寿命有了极大的提高，拓展了MoS2在大气环境下的应用范围。