一种磁性微位移平台式平面反射镜激光干涉仪

本实用新型涉及一种精密测试技术及仪器领域， 特别涉及一种磁性微位移平台式平面反射镜激光干涉仪， 包括有激光源、微动平面反射镜、干涉测量光电探测器、 移动平面反射镜、分光镜组和磁性微位移平台， 所述微动平面反射镜设置在所述磁性微位移平台上， 还包括有反射测量光电探测器。 激光束经所述移动平面反射镜反射至所述分光镜组后， 还形成有反射激光束， 所述反射激光束射向所述反射测量光电探测器。

本申请的激光干涉仪， 由于反射测量光电探测器可以测量移动平面反射镜反射激光束的强度， 根据反射激光束的强度确定激光干涉光束的干涉状态， 如此实现抗环境干扰的目的。

本实用新型涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种磁性微位移平台式平面反射镜激光干涉仪，包括有激光源、微动平面反射镜、干涉测量光电探测器、移动平面反射镜、分光镜组和磁性微位移平台，所述微动平面反射镜设置在所述磁性微位移平台上，还包括有反射测量光电探测器，激光束经所述移动平面反射镜反射至所述分光镜组后还形成有反射激光束，所述反射激光束射向所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪，由于反射测量光电探测器可以测量移动平面反射镜反射激光束的强度，根据反射激光束的强度确定激光干涉光束的干涉状态，如此实现抗环境干扰的目的。