一种基于锰铜合金微纳敏感单元的切削力测量装置

一种基于锰铜合金微纳敏感单元的切削力测量装置， 在刀片和刀垫之间设有切削力测量单元， 切削力测量单元的形状、尺寸与刀片、刀垫匹配， 切削力测量单元为三明治结构， 分别为上、下氧化铝绝缘层和中间器件层， 中间器件层的内部集成有基于锰铜合金材料的敏感电阻， 铜电极和引线电路的一端与基于锰铜合金材料的敏感电阻连通， 另一端与切削力测量单元侧面的金属焊盘连通， 从而使基于锰铜合金材料的敏感电阻与信号处理电路中的固定电阻连接构成惠斯通测量电桥， 切削力测量单元采用MEMS技术进行加工。 本发明具有兼容性好、通用性强、测量精度高的优点。

一种基于锰铜合金微纳敏感单元的切削力测量装置，在刀片和刀垫之间设有切削力测量单元，切削力测量单元的形状、尺寸与刀片、刀垫匹配，切削力测量单元为三明治结构，分别为上、下氧化铝绝缘层和中间器件层，中间器件层的内部集成有基于锰铜合金材料的敏感电阻，铜电极和引线电路的一端与基于锰铜合金材料的敏感电阻连通，另一端与切削力测量单元侧面的金属焊盘连通，从而使基于锰铜合金材料的敏感电阻与信号处理电路中的固定电阻连接构成惠斯通测量电桥，切削力测量单元采用MEMS技术进行加工，本发明具有兼容性好、通用性强、测量精度高的优点。