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简介
本发明公开了一种基于ALD技术的表面氮改性二氧化钛纳米颗粒的可见光催化剂的制备方法。首先，将二氧化钛粉末转移入ALD反应室，对其表面进行超薄TiN薄膜的沉积包裹。包裹参数为：反应室温度100-500℃。
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专利基本信息
| 专利名称 | 一种基于ALD技术的表面氮改性二氧化钛纳米颗粒的可见光催化剂的制备方法 | ||
|---|---|---|---|
| 专利状态 | - | 专利号（申请号） | CN201610582290.4 |
| 申请号 | - | 专利申请日期 | 2016-07-22 |
| 专利授权日期 | 2017-01-04 | 专利权届满日 | - |
| 专利所属地 | 中国 | 专利类型 | 发明专利 |
| 发明人 | 李爱东;曹燕强;赵希瑞;陈君;吴迪 | ||
| 权利人 | - | ||
| 专利摘要 | 本发明公开了一种基于ALD技术的表面氮改性二氧化钛纳米颗粒的可见光催化剂的制备方法，首先将二氧化钛粉末转移入ALD反应室，对其表面进行超薄TiN薄膜的沉积包裹，包裹参数为：反应室温度100?500?oC；钛源：四氯化钛、四二甲氨基钛或异丙醇钛；氮源：氨气或者氨气等离子体；载气：钛源使用高纯氮气或者氩气作为载气，流量为50?200?sccm；氮源使用高纯氩气作为载气，流量为50?200?sccm；脉冲和清洗时间：钛源脉冲为0.1?10?s；每次无机源脉冲之后都紧接着用高纯氮气清洗2?60?s；氮源脉冲为5?60s，紧接着用高纯氮气清洗2?60?s，冲掉反应副产物和残留的反应源。该方法简单易行，产品的可见光催化性能显著增强。 | ||
成果评价分析
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