纳米磁性薄膜技术

永磁材料在许多微型执行器件中扮演着重要角色，它的性能直接关系到执行动作的精确性和稳定性。利用薄膜制备技术，制备性能优良的永磁体是制造微执行器的关键技术之一。

微执行器件中的永磁材料需要具备以下特性： - 较高的矫顽力 - 较高的磁化饱和强度 - 适合MEMS加工工艺，如溅射、LIGA、刻蚀、高温退火等 - 较高的环境稳定性，如与基体结合牢固、抗振动、抗疲劳、耐高温等

该项目利用现有的磁控溅射技术，可以制备满足微执行器需要的永磁薄膜。同样，某些微执行器中需要软磁材料，也可以用磁控溅射技术来实现。

永磁材料在许多微型执行器件中扮演重要角色，它的性能直接关系到执行动作的精确性和稳定性。利用薄膜制备技术，制备性能优良的永磁体是制造微执行器的是关键技术之一。微执行器件中的永磁材料需要具有的特性包括较高的矫顽力、较高的磁化饱和强度；适合MEMS加工工艺，如溅射、LIGA、刻蚀、高温退火等；较高的环境稳定性，如与基体结合牢固、抗振动、抗疲劳、耐高温等。该项目利用现有的磁控溅射技术，可以制备满足微执行器需要的永磁薄膜。同样，某些微执行器中需要软磁材料，也可以用磁控溅射技术来实现。