本发明公开了一种非挥发阻变存储器,其核心为以超薄铁电薄膜为势垒层的金属/铁电体/半导体铁电隧道结。
本发明存储器借鉴铁电场效应器件的工作机制,采用半导体材料作为电极,提出基于金属/铁电体/半导体铁电隧道结的非挥发阻变存储方案。这一结构中,自发极化翻转调制了铁电体/半导体界面上半导体表面多数载流子浓度,从而实现对结势垒高度和宽度的同时调制。
存储器通过电翻转超薄BaTiO3势垒层中铁电极化,成功调制了结电阻,并获得了10^4以上的ON/OFF阻态比,比当前在金属/铁电体/半导体隧道结中报道的结果高了1-2个数量级。
| 专利名称 | 一种非挥发阻变存储器 | ||
|---|---|---|---|
| 专利状态 | - | 专利号(申请号) | CN201310276651.9 |
| 申请号 | - | 专利申请日期 | 2013-07-03 |
| 专利授权日期 | 2013-10-02 | 专利权届满日 | - |
| 专利所属地 | 中国 | 专利类型 | 发明专利 |
| 发明人 | 吴迪;温峥;李爱东;李晨;闵乃本 | ||
| 权利人 | - | ||
| 专利摘要 | 本发明公开了一种非挥发阻变存储器,其核心为以超薄铁电薄膜为势垒层的金属/铁电体/半导体铁电隧道结。本发明借鉴铁电场效应器件的工作机制,采用半导体材料作为电极,提出基于金属/铁电体/半导体铁电隧道结的非挥发阻变存储方案。这一结构中,自发极化翻转调制了铁电体/半导体界面上半导体表面多数载流子浓度,从而实现对结势垒高度和宽度的同时调制。通过电翻转超薄BaTiO3势垒层中铁电极化,成功调制了结电阻,并获得了104以上的ON/OFF阻态比,比当前在金属/铁电体/半导体隧道结中报道的结果高了1-2个数量级。 | ||