一种非接触式薄膜温度‑折射率测量装置及方法

本发明公开了一种非接触式薄膜温度-折射率测量装置及方法。

该测量装置包括以下组件：

1. 光源
2. 光纤耦合器
3. 第一凸透镜
4. 第二凸透镜
5. 参考板
6. 温度加载器
7. 光谱仪
8. 信号处理系统

其中，参考板和被测薄膜均置于温度加载器内。温度加载器能够改变参考板和被测薄膜所处的温度。

光谱仪能够获取被测薄膜前表面反射光、被测薄膜后表面反射光以及参考板反射光相互干涉的干涉光谱。

信号处理系统能够计算得出，被测薄膜所处的温度由T1变至T2后，其折射率的变化量Δn1。

应用本发明提供的测量方法和装置时，可以通过改变被测薄膜和参考板所处的温度，得出被测薄膜随着温度变化折射率的变化值，具有动态测量能力。

本发明公开了一种非接触式薄膜温度‑折射率测量装置及方法，该测量装置包括光源、光纤耦合器、第一凸透镜、第二凸透镜、参考板、温度加载器、光谱仪以及信号处理系统。参考板和被测薄膜均置于温度加载器内，温度加载器能够改变参考板和被测薄膜所处的温度。光谱仪能够得到被测薄膜前表面反射光、被测薄膜后表面反射光以及参考板反射光相互干涉的干涉光谱。信号处理系统能够计算得出被测薄膜所处的温度由T1变至T2后其折射率的变化量Δn1。应用本发明提供的测量方法和装置时，可以通过改变被测薄膜和参考板所处的温度，得出被测薄膜随着温度变化折射率的变化值，具有动态测量能力。