一种基于氟化咪唑离子凝胶的二氧化碳气体传感器及其制备方法和用途

本发明提供了一种基于氟化咪唑离子凝胶的二氧化碳气体传感器，及其制备方法和用途。

所述二氧化碳气体传感器包括以下组成部分：

1. 衬底层；
2. 在衬底层上依次形成的介电-金属电极组合层；
3. 氟化咪唑离子凝胶层。

其中，介电-金属电极组合层由以下两层次组成：

1. 经过粗糙图形化的介电层；
2. 金属电极层。

本发明所述的二氧化碳气体传感器，通过以下方式感知环境中二氧化碳浓度的变化：

1. 通过氟化咪唑离子凝胶层；
2. 对介电-金属电极组合层进行粗糙图形化。

这种粗糙图形化处理，可以防止氟化咪唑离子凝胶层中的氟化咪唑离子凝胶流动，从而使得传感器具有更好的稳定性。

此外，本发明所述的传感器还具有以下优点：

1. 防止空气中水分对测试结果的干扰；
2. 具有更好的准确率；
3. 传感器的功耗低；
4. 器件结构简单；
5. 成本低。

本发明提供了一种基于氟化咪唑离子凝胶的二氧化碳气体传感器及其制备方法和用途，所述二氧化碳气体传感器包括衬底层以及在衬底层上依次形成的介电?金属电极组合层和氟化咪唑离子凝胶层，其中介电?金属电极组合层为经过粗糙图形化的介电层和金属电极层形成的组合层。本发明所述二氧化碳气体传感器通过氟化咪唑离子凝胶层感知环境中二氧化碳浓度变化，并通过对介电?金属电极组合层进行粗糙图形化，防止氟化咪唑离子凝胶层中的氟化咪唑离子凝胶流动，进而使传感器具有更好的稳定性，并且防止空气中水分对测试结果的干扰，具有更好的准确率；同时，传感器的功耗低，器件结构简单，成本低。