一种等离子体增强化学气相沉积的控制系统

本发明实施例公开了一种等离子体增强化学气相沉积的控制系统，具体如下：

包括以下组件： 1. 用于远程监控和数据记录查询的第一监控设备组； 2. 用于数据处理及参数配置的第二监控设备组； 3. 以太网交换机； 4. 用于控制工艺操作的第一控制设备组； 5. 用于执行工艺操作的第二控制设备组。

连接方式： - 第一监控设备组和第二监控设备组分别通过以太网交换机与第一控制设备组连接； - 第一控制设备组与第二控制设备组直接连接。

第二控制设备组构成： - 包括用于样品传输的装载室； - 用于工艺操作的反应室。

采用本发明，可满足以下需求： - 实时监控工艺操作过程； - 执行大数据处理。

本发明实施例公开了一种等离子体增强化学气相沉积的控制系统，包括：用于远程监控和数据记录查询的第一监控设备组、用于数据处理及参数配置的第二监控设备组、以太网交换机、用于控制工艺操作的第一控制设备组和用于执行工艺操作的第二控制设备组；所述第一监控设备组和所述第二监控设备组分别通过以太网交换机，与所述第一控制设备组连接，所述第一控制设备组与所述第二控制设备组连接；第二控制设备组包括用于样品传输的装载室和用于工艺操作的反应室。采用本发明，可满足实时监控工艺操作工程，执行大数据处理。