一种磁光光电流传感器的制造方法

本发明公开了一种磁光电流传感器及其制造方法，包括以下组成部分：沿光路设置的光源、起偏器、磁光传感单元、检偏器及方位探测器。特别地，该磁光传感单元采用保护层、永磁薄膜和磁光材料层叠生长的结构。

制造过程如下：

1. 首先制备清洁、干燥的磁光材料。
2. 在真空条件下，对磁光材料生长永磁薄膜。
3. 在永磁薄膜上生长SiN或SiO₂薄膜保护层。
4. 利用永磁机对磁光传感单元的永磁薄膜进行充磁。

本发明通过利用永磁薄膜，实现了光路通过的磁场强度大、平行度好。这一设计有效增大了偏振光的旋转角，从而提高了传感器的感应精度。

此外，该磁光电流传感器的光路元件较少，系统设计更为简便，可靠性也更高。

本发明公开了一种磁光电流传感器及其制造方法，包括沿光路设置的光源、起偏器、磁光传感单元、检偏器及方位探测器，其中该磁光传感单元为保护层、永磁薄膜和磁光材料层叠生长结构；制造时，首先制备清洁、干燥的磁光材料，然后在真空条件下对磁光材料生长永磁薄膜，再在永磁薄膜上生长SiN或SiO