振动器件直接接触散热的热管理方案

类似于压电变压器这种高频振动器件，直接接触散热通常存在以下问题：接触热阻大、器件磨损严重、影响振动性能。

为了解决这些问题，本方案提供了一种高柔性、低热阻、高热导系数的微阵列接触散热结构。该结构通过在散热器基底大规模生长长径比高、阵列密度合适的微阵列结构实现。基于其纵向良好的导热性和范德华力作用，以及横向良好的柔度，该结构可用于振动器件不宜于直接接触散热的场合。

这种振动器件热管理方案具有以下优点：

1. 无相对滑动，不产生接触磨损。
2. 垂直于传热方向柔度高，阻尼小。
3. 对器件振动影响低。
4. 传热方向上不需要额外的作用力进行固定，结构简单。

可以一定程度上满足振动器件对热管理的需求。

技术优势（参数）：

1. 微阵列结构可直接作为振动器件接触散热中的热界面材料。
2. 由于大规模范德瓦尔力的叠加作用，微阵列结构将直接吸附在器件上，不需要额外施加预紧力。
3. 微阵列单元尺寸在微纳级别，能很好地填充器件表面的空洞或者缺陷，降低接触热阻。
4. 微阵列结构的高柔性不会影响器件的振动性能。

类似于压电变压器这种高频振动器件，直接接触散热通常存在接触热阻大、器件磨损严重、影响振动性能。为了解决这些问题，本方案提供了一种高柔性、低热阻、高热导系数的微阵列接触散热结构。通过在散热器基底大规模生长长径比高、阵列密度合适的微阵列结构，基于其纵向良好的导热性和范德华力作用，以及横向良好的柔度，可用于振动器件不宜于直接接触散热的场合。 这种振动器件热管理方案，由于无相对滑动，不产生接触磨损，垂直于传热方向柔度高阻尼小， 对器件振动影响低，并且传热方向上不需要额外的作用力进行固定，结构简单，可以一定程度上满足振动器件对热管理的需求。

技术优势（参数）

1、微阵列结构可直接作为振动器件接触散热中 的热界面材料。

2、由于大规模范德瓦尔力的叠加作用，微阵列 结构将直接吸附在器件上，不需要额外施加预紧力。

3、微阵列单元尺寸在微纳级别，能很好的填充 器件表面的空洞或者缺陷，降低接触热阻。

4、微阵列结构的高柔性不会影响器件的振动性能