基于单壁碳纳米管的双悬臂梁红外探测器及其形成方法

一种基于单壁碳纳米管的双悬臂梁红外探测器及其形成方法。

其中，该探测器包括： - 基底（10），基底中形成有贯穿基底顶表面和底表面的检测窗口（W）； - 两个异质悬臂梁（2），每个异质悬臂梁位于基底之上，每个异质悬臂梁的固定端与基底相连，自由端悬空在检测窗口之上； - 单壁碳纳米管薄膜（3），单壁碳纳米管薄膜桥接于两个异质复合悬臂梁的两个自由端之间。

其中，异质悬臂梁包括： - 第一材料层（21）； - 位于第一材料层之上的第二材料层（22）。

在这两材料层中，第一材料层与第二材料层的热膨胀系数不相同。

本发明的基于单壁碳纳米管的双悬臂梁红外探测器具有灵敏度高、结构简单等优点。

一种基于单壁碳纳米管的双悬臂梁红外探测器及其形成方法。其中该探测器包括：基底(10)，基底中形成有贯穿基底顶表面和底表面的检测窗口(W)；两个异质悬臂梁(2)，每个异质悬臂梁位于基底之上，每个异质悬臂梁的固定端与基底相连，自由端悬空在检测窗口之上；单壁碳纳米管薄膜(3)，单壁碳纳米管薄膜桥接于两个异质复合悬臂梁的两个自由端之间，其中，异质悬臂梁包括第一材料层(21)和位于第一材料层之上的第二材料层(22)，第一材料层与第二材料层的热膨胀系数不相同。本发明的基于单壁碳纳米管的双悬臂梁红外探测器具有灵敏度高、结构简单等优点。