基于金刚线切割的硅片的制绒预处理方法及硅片制绒方法

摘要：

本发明提供一种基于金刚线切割的硅片的制绒预处理方法，具体步骤如下：

a. 将氢氟酸溶液、过氧化氢溶液、金属盐和水混合，得到预处理液；

b. 将金刚线切割的硅片置于所述预处理液中进行预处理A，直至基本去除硅片上的切割纹；

c. 用酸性溶液对经过预处理A处理的硅片进行清洗，以去除硅片上的金属颗粒；

d. 将用酸性溶液清洗过的硅片置于预处理液中进行预处理B，在所述硅片上形成具有均匀微纳结构的预处理绒面。

此外，本发明还提供一种基于金刚线切割的硅片的制绒方法。

摘要：本发明提供一种基于金刚线切割的硅片的制绒预处理方法，其包括如下步骤：a将氢氟酸溶液、过氧化氢溶液、金属盐和水混合得到预处理液；b将金刚线切割的硅片置于所述预处理液中进行预处理A，直到基本去除硅片上的切割纹；c用酸性溶液对经过预处理A处理的硅片进行清洗，以去除硅片上的金属颗粒；d将用酸性溶液清洗过的硅片置于预处理液中进行预处理B，在所述硅片上形成具均匀微纳结构的预处理绒面。本发明还提供一种基于金刚线切割的硅片的制绒方法。