一种便携式纳米加工在线测量装置及测量方法

本发明公开了一种便携式纳米加工在线测量装置及测量方法，包括以下组成部分：

1. 光学测头和电控模块。
2. 光学测头通过光学测头底板与电控模块固定。

工作时，操作如下：

• 可调谐红外激光谐振腔与稳压激光二极管发出的光由光纤连接到光纤传输模块。
• 光纤传输模块将两路激光耦合并传送至光纤准直器。
• 光纤准直器将光投射到闪耀光栅上。
• 闪耀光栅的零级衍射光投射到参考臂反射镜并原路返回。
• 一级衍射光经准直透镜投射到被测物表面并原路返回。

两路光干涉并返回到光纤准直器，由光纤传输模块检测干涉信号。

电控模块包括以下单元：

• 供电单元。
• 信号采集处理单元。
• 系统闭环控制单元。

电控模块的功能如下：

• 实现光学测头的供电。
• 将干涉信号传送给计算机进行数据处理。
• 将系统信号偏差传送给压电陶瓷供电单元，以稳定系统工作点。

本发明公开了一种便携式纳米加工在线测量装置及测量方法，包括光学测头和电控模块，光学测头通过光学测头底板与电控模块固定；工作时，可调谐红外激光谐振腔与稳压激光二极管发出的光由光纤连接到光纤传输模块，光纤传输模块将两路激光耦合并传送至光纤准直器，光纤准直器将光投射到闪耀光栅上，闪耀光栅的零级衍射光投射到参考臂反射镜并原路返回，一级衍射光经准直透镜投射到被测物表面并原路返回；两路光干涉并返回到光纤准直器，由光纤传输模块检测干涉信号；电控模块包括供电单元、信号采集处理以及系统闭环控制单元，实现光学侧头供电、将干涉信号传送给计算机进行数据处理及将系统信号偏差传送给压电陶瓷供电单元稳定系统工作点的功能。