扫描电子声（热波）显微镜

扫描电子声（热波）显微镜

扫描电子声显微镜技术是在扫描电子显微镜的基础上发展起来的一种基于热声效应的无损检测技术。当扫描电子显微镜的探测电子束对样品进行扫描成像时，入射的电子会把入射的能量部分转化成热能，从而使样品表面及亚表面层的温度升高。

通过对扫描电子束实现强度调制，从而使样品表面及亚表面周期性加热激发声波（电子声信号）。检测不同位置的声信号的振幅和相位，可分析样品在不同深度的结构、性质和参量，实现分层成像。

由于电子束能聚焦得比较细，其成像分辨率优于光声显微镜，特别适合于介观范畴的成像检测。可应用于以下领域：

1. 半导体材料和器件的研究、分层检测及其对生产工艺流程的控制等；
2. 层状或不均匀材料的分层研究和检测；
3. 固体电畴或磁畴的成像等的研究，畴形态及其畴动力学领域的研究；
4. 多晶材料的晶体形貌的研究；
5. 各种固体残余应力的研究；
6. 生物组织、大分子结构的分层研究和检测；
7. 组织损伤研究等。

扫描电子声（热波）显微镜

扫描电子声显微镜技术是在扫描电子显微镜的基础上发展起来的一种基于热声效应的无损检测技术。当扫描电子显微镜的探测电子束对样品进行扫描成像时，入射的电子会把入射的能量部分转化成热能，从而使样品表面及亚表面层的温度升高。通过对扫描电子束实现强度调制，从而使样品表面及亚表面周期性加热激发声波（电子声信号）。检测不同位置的声信号的振幅和相位，可分析样品在不同深度的结构、性质和参量，实现分层成像。由于电子束能聚焦得比较细，其成象分辨率优于光声显微镜，特别适合于介观范畴的成象检测。可应用于半导体材料和器件的研究、分层检测及其对生产工艺流程的控制等；层状或不均匀材料的分层研究和检测；固体电畴或磁畴的成像等的研究，畴形态及其畴动力学领域的研究；多晶材料的晶体形貌的研究，各种固体残余应力的研究，生物组织、大分子结构的分层研究和检测、组织损伤研究等。