一种隔断式MEMS引信

一种隔断式MEMS引信，其结构如下：

1. 药剂层：位于引信的中心，其上部与药剂盖板层通过键合连接，下部与安保装置层上部通过键合连接。

2. 药剂盖板层：覆盖药剂层上部，通过键合与药剂层连接。

3. 安保装置层：位于药剂层下部，其上部通过键合与药剂层下部连接，下部与加速膛层黏贴。

4. 安保装置层结构：

   • 硅衬底层：作为基础层。
   • 二氧化硅层：在硅衬底层上制作。
   • 可动硅结构层：在二氧化硅层上制作，包含四组驱动器。

5. 驱动器布局：

   • 每组驱动器的右、左金属电极分别制作在右、左锚点上，呈阵列。

6. V型热电执行器：

   • 两端分别与左、右锚点相连。

7. 杠杆机构：

   • 首端通过右柔性梁与中间臂相连。
   • 下锚点通过左柔性梁与杠杆的首端相连。

8. 隔板设计：

   • 位于杠杆的末端，制作有互锁槽与互锁齿。
   • 与相邻隔板对应的互锁齿及互锁槽形成互锁。

本发明将MEMS技术应用到引信，具有以下特点： - 低成本 - 高智能 - 易集成

一种隔断式MEMS引信，包括药剂层，药剂层上部和药剂盖板层通过键合的方式连接，药剂层下部和安保装置层上部通过键合的方式连接，安保装置层下部和加速膛层黏贴，安保装置层包括硅衬底层，二氧化硅层以及可动硅结构层依次制作在硅衬底层上，在可动硅层中制作有四组驱动器，每组驱动器的右、左金属电极分别制作在右、左锚点上，呈阵列的V型热电执行器的两端分别与左、右锚点相连，杠杆的首端通过右柔性梁与中间臂相连，下锚点通过左柔性梁与杠杆的首端相连，隔板位于杠杆的末端并且制作有互锁槽与互锁齿，与相邻隔板对应的互锁齿及互锁槽形成互锁，本发明将MEMS技术应用到引信，具有低成本、高智能、易集成的特点。