薄膜晶体管制作方法及其微纳复合喷射机

本发明公开了一种薄膜晶体管制作方法及其微纳复合喷射机。该方法在基底材料上，利用微米和纳米级液滴复合喷射技术，根据薄膜晶体管的结构与材料，逐层喷射出晶体管的各电极以及绝缘层或保护层。具体而言：

• 当晶体管的特征尺寸小于微米喷射的尺寸或需要精细喷射时，采用纳米喷射方式；
• 否则，采用微米喷射方式。

所述的微纳复合喷射机基于热释电效应提供电场，具有以下优势：

• 可避免传统纳米喷射装置上直接施加电场所需的高压电和复杂电路，从而解决诸多问题；
• 能满足印刷电子器件大面积、高效率、低成本的喷射制作需求。

本发明公开了一种薄膜晶体管制作方法及其微纳复合喷射机，该方法在基底材料上以微米和纳米级液滴复合喷射技术，根据薄膜晶体管的结构与材料逐层喷射出晶体管的各电极以及绝缘层或保护层；且当晶体管的特征尺寸小于微米喷射的尺寸或需要精细喷射时采用纳米喷射方式，否则采用微米喷射方式。所述的微纳复合喷射机基于热释电效应提供电场，可避免传统纳米喷射装置上直接施加电场所需的高压电和复杂电路引起的诸多问题，而且能满足印刷电子器件大面积、高效率、低成本的喷射制作需求。