一种磁性微位移平台式平面反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法

本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种磁性微位移平台式平面反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法。

所述磁性微位移平台式平面反射镜激光干涉仪，包括以下组件：

• 激光源
• 微动平面反射镜
• 干涉测量光电探测器
• 移动平面反射镜
• 分光镜组
• 磁性微位移平台

其中，微动平面反射镜设置在磁性微位移平台上，还包括反射测量光电探测器。

激光束经移动平面反射镜反射至分光镜组后，形成反射激光束，该反射激光束射向反射测量光电探测器。

本申请的激光干涉仪，利用反射测量光电探测器可以测量移动平面反射镜反射激光束的强度。通过分析反射激光束的强度，可以确定激光干涉光束的干涉状态，从而实现抗环境干扰的目的。

本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种磁性微位移平台式平面反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法，所述磁性微位移平台式平面反射镜激光干涉仪，包括有激光源、微动平面反射镜、干涉测量光电探测器、移动平面反射镜、分光镜组和磁性微位移平台，所述微动平面反射镜设置在所述磁性微位移平台上，还包括有反射测量光电探测器，激光束经所述移动平面反射镜反射至所述分光镜组后还形成有反射激光束，所述反射激光束射向所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪，由于反射测量光电探测器可以测量移动平面反射镜反射激光束的强度，根据反射激光束的强度确定激光干涉光束的干涉状态，如此实现抗环境干扰的目的。