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成果概况
简介
该仪器是通用型测微仪器,集光学、电子、精密机械和计算机技术于一体,形成了一个综合性系统。它适用于实验室中对微小光学图形进行高精度、无接触的测量。特别适合于半导体工业IC掩膜板制造工艺的精密测量和芯片检查,以及精密光刻的精度检验、精密微型机械零件轮廓尺寸的测量。此外,它也可用于医学、生物学等其它领域中的微观物体几何尺寸的测量。
由于仪器采用了光学放大、电子细分、光标跨线与数字补偿的方法,其测量过程变得非常简便、直观。测量精度高,重复性好。该产品的推出,填补了国内市场的空白。
该仪器是通用型测微仪器,是光学、电子精密机械和计算机技术的综合性系统。它适用于在实验室对微小光学图形进行高精度无接触的测量,特别适合于半导体工业IC掩膜板制造工艺的精密测量和芯片检查,以及精密光刻的精度检验、精密微型机械零件轮廓尺寸的测量,也可用于医学、生物学等其它领域中的微观物体几何尺寸的测量。由于仪器采用了光学放大、电子细分、光标跨线与数字补偿的方法,从而使仪器测量过程非常简便、直观,测量精度高、重复性好。该产品填补了国内空白。
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原文)
专利基本信息
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专利号(申请号) |
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专利申请日期 |
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专利权届满日 |
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专利类型 |
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