电感耦合等离子体管筒内表面离子注入改性装置及方法

摘要：

电感耦合等离子体管筒内表面离子注入改性装置及方法，涉及一种表面处理装置和处理方法。本发明旨在解决现有管筒内表面离子注入处理时，因采用电容耦合等离子体导致放电间距大，难以对细管内表面进行处理的问题。

装置： - 螺线管设置在管筒内，其一端与匹配箱连接，另一端与地极连接。

方法： 1. 将真空室内抽真空； 2. 向真空室内充入气体； 3. 在螺线管内外产生轴向均匀的电感耦合等离子体； 4. 脉冲负高压施加到管筒上，使管筒内形成径向电场； 5. 关闭脉冲负高压电源和射频电源，完成电感耦合等离子体管筒内表面离子注入。

本发明具有等离子体源放电均匀的优点，螺线管起到地电极钳制电位的作用，使得本发明能够对直径更细小的管筒内表面进行离子注入处理。

摘要：电感耦合等离子体管筒内表面离子注入改性装置及方法，它涉及一种表面处理装置和处理方法。本发明为解决现有管筒内表面离子注入处理时因采用电容耦合等离子体使得放电间距大而难以对细管内表面进行处理的问题。装置：螺线管设置在管筒内，且一端与匹配箱连接、另一端与地极连接。方法：一、将真空室内抽真空；二、向真空室内充入气体；三、螺线管内外产生轴向均匀的电感耦合等离子体；四、脉冲负高压施加到管筒上使管筒内形成径向电场；五、关闭脉冲负高压电源和射频电源，完成电感耦合等离子体管筒内表面离子注入。本发明具有等离子体源放电均匀的优点，螺线管起到地电极钳制电位的作用，本发明可以对直径更细小的管筒内表面进行离子注入处理。