一种干法刻蚀坚硬无机材料基板ICP刻蚀机的预真空腔

一种干法刻蚀坚硬无机材料基板ICP刻蚀机的预真空腔设计如下：

该预真空腔由以下部分组成：

1. 腔体：腔体作为整个装置的核心部分，用于容纳和操作刻蚀过程。
2. 腔盖：腔盖安装在腔体顶部，确保腔内环境的密封性。
3. 片盘取放口：位于腔盖上的片盘取放口，便于片盘的放置和取出。
4. 盖子：在片盘取放口处设置的盖子，用于保护片盘取放口，防止灰尘和杂质进入。
5. 片盘进出口：位于腔体侧面的片盘进出口，用于片盘的进出。
6. 阀门：在片盘进出口处设有阀门，用于控制片盘的进出流程。
7. 机械泵接口：腔体上设有用于与机械泵连接的接口，确保腔内达到预定的真空度。
8. 进气管道接口：腔体上设有用于与进气管道连接的接口，用于调节腔内气体流量。
9. 导轨槽：腔体内底面上开有导轨槽，用于固定导轨器。
10. 导轨器：导轨槽内安装有沿其运动的导轨器，确保输送片盘的机械手能够平稳移动。
11. 机械手：连接在导轨器上的机械手，用于输送片盘。
12. 丝杆：导轨器与带动其运动的丝杆连接，丝杆可转动地安装在腔体内。
13. 伺服电机：丝杆的一端穿出腔体与伺服电机连接，伺服电机固定在腔体的底部，用于驱动丝杆和导轨器。

本实用新型的有益效果包括：

• 机械手的运输机制更简单可靠，操作简便。
• 成本低，结构设计简洁，易于制造和维护。

一种干法刻蚀坚硬无机材料基板ICP刻蚀机的预真空腔，包括腔体，所述腔体上安装有腔盖，所述腔盖上开有片盘取放口，所述片盘取放口处设置有盖子，所述腔体的一侧面上开有片盘进出口，所述片盘进出口处设有阀门，所述腔体上设有用于与机械泵连接的机械泵接口、用于与进气管道连接的进气管道接口，所述腔体内底面上开有导轨槽，所述导轨槽内安装有沿其运动的导轨器，所述导轨器上连接有输送片盘的机械手；所述导轨器与带动其运动的丝杆连接，所述丝杆可转动的安装在腔体内，其一端穿出腔体与伺服电机连接，所述伺服电机固定在腔体的底部。本实用新型的有益效果：机械手的运输机制更简单可靠、成本低。