一种制备太阳能电池对电极的方法

本发明公开了一种制备太阳能电池对电极的方法。

本发明采用普通载玻片为衬底，使用磁控溅射方法在衬底上依次沉积一层金属钛薄膜和一层金属铂薄膜以制备对电极。

所制备的对电极导电率高，方块电阻仅为导电玻璃的1/28。

组装成电池后在模拟太阳光(1Sun)下面测得的填充因子平均达到0.68。

本方法制备的对电极的导电薄膜不容易脱落，使用三个月以后膜面几乎没有损耗。

该方法采用的工艺重复性高，制备的对电极薄膜致密，电导率高，黏附性强。

相对于以往的对电极制备工艺降低了成本。

专利号：200710052636.0

本发明公开了一种制备太阳能电池对电极的方法。本发明采用普通载玻片为衬底，使用磁控溅射方法在衬底上依次沉积一层金属钛薄膜和一层金属铂薄膜以制备对电极。所制备的对电极导电率高，方块电阻仅为导电玻璃的1/28；组装成电池后在模拟太阳光(1Sun)下面测得的填充因子平均达到0.68。本方法制备的对电极的导电薄膜不容易脱落，使用三个月以后膜面几乎没有损耗。该方法采用的工艺重复性高，制备的对电极薄膜致密，电导率高，黏附性强。相对于以往的对电极制备工艺降低了成本。200710052636.0