一种透明热电模块的制备方法

本发明公开了一种透明热电模块的制备方法，属于功能材料及器件领域。

本发明所述方法首先采用脉冲激光沉积技术，在双面抛光Al2O3(0001)单晶衬底的其中一个表面，淀积P-CuCr1-xMgxO2薄膜。在此过程中，使用镍掩膜板Ⅰ来遮挡衬底表面。

接着，将双面抛光Al2O3(0001)单晶衬底翻转180°，保持镍掩膜板Ⅰ的位置不变，再次使用脉冲激光沉积技术，在单晶衬底的另一表面淀积N-Zn1-yAlyO薄膜。

最后，采用离子溅射技术在单晶衬底的边缘两侧制备金电极，同样使用镍掩膜板Ⅱ来遮挡衬底的边缘两侧。

本发明制备得到的透明热电模块，其中P-CuCr1-xMgxO2和N-Zn1-yAlyO薄膜呈X形交叉分布，且金电极将P、N型薄膜依次连接成两个串联通路。

与现有薄膜热电模块相比，本发明在单位面积上的输出功率增大，衬底和电极材料用量减少，且模块在可见光波段透过率高，肉眼观察为透明。

本发明公开了一种透明热电模块的制备方法，属于功能材料及器件领域。本发明所述方法首先采用脉冲激光沉积在双面抛光Al2O3(0001)单晶衬底的其中一个表面淀积P‑CuCr1‑xMgxO2薄膜，淀积过程用镍掩膜板Ⅰ遮挡衬底表面；然后将双面抛光Al2O3(0001)单晶衬底翻转180°，镍掩膜板Ⅰ位置不变，用脉冲激光沉积在单晶衬底的另一表面淀积N‑Zn1‑yAlyO薄膜；最后采用离子溅射在单晶衬底的边缘两侧制备金电极，淀积过程用镍掩膜板Ⅱ遮挡衬底的边缘两侧。本发明制备得到的透明热电模块为P‑CuCr1‑xMgxO2、N‑Zn1‑yAlyO薄膜间呈X形交叉分布，且金电极将P、N型薄膜依次连接成两个串联通路。本发明相比现有薄膜热电模块单位面积上的输出功率增大，衬底和电极材料用量减少，模块在可见光波段透过率高，肉眼观察为透明。