金刚石膜紫外光电探测器

一、项目简介

本产品采用平面半导体工艺，在金刚石薄膜上研制出具有金属－半导体－金属(MSM)结构的紫外光电探测器，适用于100～400nm紫外波段光信号的探测。

二、技术特点

金刚石以其宽禁带宽度（5.3eV）、短响应波段、耐高温、抗腐蚀等特性，成为同类宽带材料（如GaN基材料、SiC、BN等）中光响应波段最短的材料。其光响应峰值约为200nm，400～800nm的可见光区均为盲区，这对于紫外光的探测极为有利。在中国，金刚石薄膜的生长技术已逐渐成熟，成本大幅下降。因此，采用金刚石薄膜紫外探测器相比GaN基材料、SiC等材料的紫外探测器，价格更低，性能更优越。MSM结构由两个背靠背的肖特基二极管构成，无需形成PN结和欧姆接触。这使得MSM结构在工艺上比光电导、PN结、PIN等结构更为简单，特别适合于金刚石等宽禁带探测器的制造。

三、应用范围和市场前景

紫外探测器广泛应用于矿井可燃气体和汽车尾气的监测、固体燃料成分分析、环境污染监测、水下通信、细胞癌变分析、DNA测试、准分子激光器检测等领域。随着紫外线的广泛应用，紫外探测器也将在环保、医学、军事等领域得到更广泛的应用，并拥有广阔的市场前景。

四、对合作者要求

合作者需具备金刚石薄膜生长的能力，共同开发金刚石薄膜紫外探测器及其应用。

一、项目简介 本产品是在金刚石薄膜上采用平面半导体工艺，研制具有金属－半导体－金属(MSM)结构的紫外光电探测器，用于100～400nm紫外波段光信号的探测。 二、技术特点 金刚石具有禁带宽度宽（5.3ev）、响应波段短、耐高温、抗腐蚀等优点，是同类宽带材料（GaN基材料、SiC、BN等）中光响应波段最短的材料，光响应峰值约为200nm,400～800nm的可见光区范围均为盲区，大大有利于紫外光的探测。金刚石薄膜的生长技术在中国已经逐渐成熟，成本大大下降。所以采用金刚石薄膜紫外探测器，将比用GaN基材料、SiC等材料制备的紫外探测器价格更加便宜、性能也将更优越。MSM结构是有两个背靠背的肖特基二极管构成，不必形成PN结和欧姆接触。所以，MSM结构比光电导、PN结、PIN等结构的工艺简单，特别适合于金刚石等宽禁带探测器的制造。 三、应用范围和市场前景 紫外探测器主要用于矿井可燃气体和汽车尾气的监测，固体燃料成分分析、环境污染监测、水下通信、细胞癌变分析、DNA测试、准分子激光器检测等领域。随着紫外线的广泛应用，紫外探测器也必将在环保、医学、军事等领域广泛应用，并有着广阔的市场。 四、对合作者要求 有从事金刚石薄膜生长的能力，合作开发金刚石薄膜紫外探测器及其应用。