战略导弹高精度导航陀螺仪关键件的离子束制备技术

项目成功地将MEVVA离子注入技术和磁过滤真空弧源沉积技术有机组合，形成了一套适合高精度陀螺仪动压气浮轴承的类金刚石薄膜的制备技术。该技术制备出了具有高结合强度的优质类金刚石膜，能在低温下（近100度）形成含有高SP3键的类金刚石膜。这使得制备的类金刚石膜具有高精度、高硬度和高耐磨性。

此外，项目自行研制了关键专用设备——MEVVA离子注入和磁过滤真空弧源沉积复合机，满足了高精度陀螺仪动压气浮轴承的类金刚石薄膜小批量试生产的需求。

将类金刚石薄膜应用于动压马达中，研制的类金刚石膜表面的摩擦系数下降，硬度增高，耐磨性能大大提高。这使柱形动压马达垂直方向起停次数达到16000次，半球形陀螺马达垂直方向起停次数超过12000次，解决了惯性仪表所面临的一个关键性问题。同时，产品通过了飞行试验考核。

动压气浮轴承经过表面改性后，可以有效地降低摩擦系数，减少动压马达的启动力矩，提高抗磨蚀能力，显著提高动压马达起停寿命。这对提高陀螺仪的精度、稳定性、可靠性起到显著作用，在航天、航空和船舶等领域有广阔的应用前景。

研究成果还可以推广应用到其他军事和民用领域，提高切削工具、精密模具和精密传动部件的表面硬度和耐磨损性能，降低摩擦系数，达到增加使用寿命的目的。在航空、航天、机械、能源和电子等军事和民用领域都有广阔的应用前景。

项目成功地把MEVVA离子注入技术和磁过滤真空弧源沉积技术进行了有机的组合，形成了一套适合高精度陀螺仪动压气浮轴承的类金刚石薄膜的制备技术，制备出了具有高结合强度的优质类金刚石膜，能在低温下(近100度)形成含有高SP3键的类金刚石膜，使制备的类金刚石膜具有高精度、高硬度和高耐磨性，并自行研制了关键专用设备-MEVVA离子注入和磁过滤真空弧源沉积复合机，满足了高精度陀螺仪动压气浮轴承的类金刚石薄膜小批量试生产的需求。将类金刚石薄膜应用于动压马达中，研制的类金刚石膜表面的摩擦系数下降，硬度增高，耐磨性能大大提高，使柱形动压马达垂直方向起停次数达到16000次，半球形陀螺马达垂直方向起停次数超过12000次，解决了惯性仪表所面临的一个关键性问题。并通过了产品的飞行试验考核。动压气浮轴承经过表面改性后，可以有效地降低摩擦系数，减少动压马达的启动力矩，提高抗磨蚀能力，显著动压马达起停寿命，对提高陀螺仪的精度、稳定性、可靠性起到显著作用，在航天、航空和船舶等领域有广阔的应用前景。研究成果还可以推广应用到其他军事和民用领域，提高切削工具、精密模具和精密传动部件的表面硬度和耐磨损性能，降低摩擦系数，达到增加使用寿命的目的。在航空、航天、机械、能源和电子等军事和民用领域都有广阔的应用前景。